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16噸18兆半導體行業(yè)超純水設備

更新:2020/12/6 10:32:39      點擊:
  • 產(chǎn)品品牌   
  • 產(chǎn)品型號   XQ-CCH16
  • 產(chǎn)品描述

    18兆超純水對TOC、DO、SIO2、Particulate的控制嚴格,達到PPb級,產(chǎn)水水質(zhì)要求在18.2MΩ*cm(25℃)以上。...

產(chǎn)品介紹
 上海水處理設備網(wǎng)m.esdzu.com18兆超純水設備工藝流程:

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反滲透純水設備

RO反滲透膜的工作原理是對水施加一定的壓力,使水分子和離子態(tài)的礦物質(zhì)元素通過一層反滲透膜,而溶解在水中的絕大部分無機鹽(包括重金屬)有機物以及細菌、病毒等無法透過反滲透膜,從而透過的純水和無法透過的濃縮水嚴格的分開;

反滲透膜上的孔徑只有0.0001um而病毒的直徑一般有0.02-0.4um普通細菌的直徑有0.4-1um反滲透純水機的正常工作有賴于一定的壓力,這個壓力大于滲透膜的滲透壓,一般是2.8公斤/平方厘米。

水壓或水壓不穩(wěn)定的地區(qū),建議您一定要購買有前段增壓泵的反滲透純水系統(tǒng),工作壓力可達0.3-0.6Mpa不受自來水壓限制,制水效率高,8運行利息和維修利息低<9運行操作簡單。速度快、排濃縮水少。

一級反滲透設備出水電阻率一般在0.05-0.5MΩ.CM.此純水系統(tǒng)產(chǎn)水品質(zhì)穩(wěn)定,目前比較通用的純水生產(chǎn)設備,生產(chǎn)品質(zhì)基本滿足FPC/PCB生產(chǎn)需求。

②EDI電除鹽超純水系統(tǒng)

連續(xù)電除鹽(EDI,ElectrodeionizCDI,continuelectrodioniz利用混和離子交換樹脂吸附給水中的陰陽離子,同時這些被吸附的離子又在直流電壓的作用下,分別透過陰陽離子交換膜而被除去的過程。

這一過程離子交換樹脂是電連續(xù)再生的因此不需要使用酸和堿對之再生。

這種新技術可以替代保守的離子交換裝置,生產(chǎn)出高達18MΩ.CM超純水。整個工藝流程前面的局部和常規(guī)的水處置工藝沒有很大區(qū)別,一般是先經(jīng)過預處理,然后加藥殺毒,再經(jīng)過RO反滲透系統(tǒng),再使用EDI設備制取超純水。

18兆超純水設備優(yōu)點:

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半導體芯片用水主要在于前端晶棒硅切片冷卻用水,基板晶圓片檢測清洗用水,中段晶圓片濺鍍、曝光、電鍍、光刻、腐蝕等工藝清洗,后段檢測封裝清洗。LED芯片主要是前段在MOCVD外延片生長用水,中段主要在曝光、顯影、去光阻清洗用水,后段檢測封裝用水。同時,半導體行業(yè)對TOC要求較高。

18兆超純水設備特點介紹:

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由于超純水設備的工藝是根據(jù)不同的入水水質(zhì)和出水要求而設計的針對不同的原水水質(zhì)特點而設計超純水設備方案才是經(jīng)濟有效的方案,同時也是出水水質(zhì)臨時穩(wěn)定達到要求的保證。超純水設備由于用途不一樣,會有不同的制造流程,或有的把幾種工藝結(jié)合起來讓水質(zhì)達到預期的效果,按類別可大至分為以下幾種,比較常用的預處理系統(tǒng),反滲透系統(tǒng),EDI電除鹽超純水系統(tǒng),精處置系統(tǒng)等。

EDI電除鹽超純水系統(tǒng)原理及特點:

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1出水水質(zhì)具有穩(wěn)定性

2能連續(xù)生產(chǎn)出符合用戶要求的超純水

3模塊化生產(chǎn),并可實現(xiàn)全自動控制

4不需酸堿再生,無污水排放

5不會因再生而停機

6無需再生設備和化學藥品儲運

7設備結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小

8運行利息和維修利息低

9運行操作簡單,勞動強度低

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